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半导体器件化学
内容简介
本书是我社出版的《化学知识丛书》之一.从化学的角度出发,介绍半导体器件生产工艺中的基本原理.
全书共分八章.前三章扼要地介绍一些化学基本概念和基本理论,后五章重点阐述氧化、化学清洗、光刻、扩散、制去离子水以及制版等工艺中的化学过程和原理.对于其它有关的工艺原理也作了简要的说明.
各章内容以基本原理为主线,并注意到理论与工艺的密切结合,力求能使读者对工艺中的化学原理有比较系统而清晰的概念.
本书可供从事半导体器件、集成电路的研制和生产的技术人员、工人与有关专业师生阅读.
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