本书共分为12章，从第1章共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括：第2章的一分为二微波功分器，第3章的间接加热热电式功率传感器，第4章的直接加热热电式功率传感器，第5章的电容式功率传感器，第6章的电容式和热电式级联功率传感器，以及集成MEMS系统，第7章的在线电容耦合式微波功率检测器，第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器，第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器，第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究；最后，第12章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术，因此，本书用较大篇幅来诠释MEMS微波功率传感器及其集成的微波功率检测器的研究。鉴于本书所涵盖的学术成果在本专业国际上的重要权威学术期刊，以及国际重要学术会议上已发表，同时，书中所提出的结构新颖，创新性突出，已获得中华人民共和国国家发明专利授权，应用价值高。
样章试读
目录
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第1章设计理论和实现方法1
1.1共面波导的设计理论和实现方法1
1.2模型的建立方法3
1.2.1微波集总模型3
1.2.2微波{热{电转换模型4
1.2.3微波{力{电转换模型5
1.3与GaAsMMIC兼容的MEMS工艺6
1.4微波、热电势和力的测试平台6
1.5系统级S参数模型9
1.6MEMS集成的微波功率检测器在微波接收机前端的应用9
1.7MEMS集成的微波相位检测器在锁相环中的应用10
1.8MEMS集成的微波频率检测器在微波接收检测中的应用11
1.9小结15
参考文献15
第2章微波功率分配器17
2.1引言17
2.2微波功率分配器的模拟和设计17
2.3微波功率分配器的性能测试22
2.4微波功率分配器的系统级S参数模型25
2.5小结31
参考文献31
第3章MEMS间接加热热电式微波功率传感器32
3.1引言32
3.2MEMS间接加热热电式微波功率传感器32
3.2.1MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计32
3.2.2MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试42
3.2.3MEMS间接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型47
3.3频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器53
3.3.1频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计53
3.3.2频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试55
3.4无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器.60
3.4.1无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计60
3.4.2无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试62
3.5三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器68
3.5.1三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计69
3.5.2三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试72
3.6小结75
参考文献76
第4章MEMS直接加热热电式微波功率传感器78
4.1引言78
4.2MEMS直接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计78
4.2.1结构和原理78
4.2.2模拟和设计80
4.3MEMS直接加热热电式微波功率传感器的测试85
4.3.1微波性能的测试86
4.3.2灵敏度的测试87
4.3.3响应时间的测试88
4.4MEMS直接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型90
4.4.1系统级S参数模型的建立90
4.4.2微波频率、隔直电容和热电堆的电阻对模型的影响91
4.5小结95
参考文献95
第5章MEMS电容式微波功率传感器96
5.1引言96
5.2MEMS固支梁电容式微波功率传感器96
5.2.1MEMS固支梁电容式微波功率传感器的模拟和设计96
5.2.2MEMS固支梁电容式微波功率传感器的性能测试107
5.3MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器114
5.3.1MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的模拟和设计114
5.3.2MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的性能测试119
5.4MEMS电容式微波功率传感器的系统级S参数模型124
5.5小结128
参考文献128
第6章MEMS级联微波功率传感器130
6.1引言130
6.2MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器130
6.2.1MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的模拟和设计130
6.2.2MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的性能测试131
6.2.3MEMS电容式和热电式级联微波功率传感器的系统级S参数模型137
6.3MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器138
6.3.1MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的模拟和设计138
6.3.2MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的性能测试139
6.3.3MEMS在线式和热电式级联微波功率传感器的系统级S参数模型142
6.4小结143
参考文献143
第7章MEMS在线电容耦合式微波功率检测器145
7.1引言145
7.2MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的模拟和设计145
7.2.1结构和原理146
7.2.2模拟和优化151
7.3MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的测试153
7.3.1具有阻抗匹配和开路传输线补偿电容结构154
7.3.2具有阻抗匹配、开路传输线补偿电容和状态转换开关结构158
7.4MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的系统级S参数模型163
7.4.1考虑损耗和相移的微波集总模型的建立163
7.4.2MEMS膜对微波信号幅度和相位的影响166
7.4.3实验验证和误差讨论167
7.5小结171
参考文献171
第8章MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器173
8.1引言173
8.2MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的模拟和设计173
8.2.1结构和原理173
8.2.2基于MEMS技术CPW定向耦合器的设计176
8.2.3MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的模拟181
8.3MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的测试185
8.3.1毫米波性能的测试185
8.3.2电容式传感器的灵敏度测试187
8.3.3热电式传感器的灵敏度测试188
8.4MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器的系统级S参数模型190
8.5小结192
参考文献193
第9章MEMS微波相位检测器194
9.1引言194
9.2单端口MEMS微波相位检测器194
9.2.1单端口MEMS微波相位检测器的模拟和设计194
9.2.2单端口MEMS微波相位检测器的性能测试196
9.2.3单端口MEMS微波相位检测器的系统级S参数模型202
9.3双端口对称式MEMS微波相位检测器211
9.3.1双端口对称式MEMS微波相位检测器的模拟和设计211
9.3.2双端口对称式MEMS微波相位检测器的性能测试216
9.3.3双端口对称式MEMS微波相位检测器的系统级S参数模型221
9.4小结227
参考文献227
第10章MEMS微波频率检测器229
10.1引言229
10.2一分二式MEMS微波频率检测器229
10.2.1一分二式MEMS微波频率检测器的模拟和设计229
10.2.2一分二式MEMS微波频率检测器的性能测试234
10.2.3一分二式MEMS微波频率检测器的系统级S参数模型237
10.3一分三式MEMS微波频率检测器242
10.3.1一分三式MEMS微波频率检测器的模拟和设计242
10.3.2一分三式MEMS微波频率检测器的性能测试246
10.3.3一分三式MEMS微波频率检测器的系统级S参数模型249
10.4MEMS在线式微波频率检测器254
10.4.1MEMS在线式微波频率检测器的模拟和设计254
10.4.2MEMS在线式微波频率检测器的性能测试257
10.4.3MEMS在线式微波频率检测器的改进结构259
10.5小结261
参考文献262
第11章MEMS封装263
11.1引言263
11.2MEMS微波功率传感器的封装研究263
11.2.1MEMS间接加热热电式微波功率传感器的封装与测试263
11.2.2频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器封装与测试265
11.3MEMS在线电容耦合式微波功率检测器的封装研究275
11.4MEMS微波相位检测器的封装研究286
11.5MEMS微波频率检测器的封装研究289
11.6小结290
参考文献290
第12章总结和展望292
12.1总结292
12.2展望293
参考文献294
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