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III-V族光电探测器及其在光纤通信中的应用


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III-V族光电探测器及其在光纤通信中的应用
  • 书号：9787030511362
    作者：白成林等
  • 外文书名：
  • 装帧：圆脊精装
    开本：B5
  • 页数：156
    字数：300
    语种：zh-Hans
  • 出版社：科学出版社
    出版时间：2017-01-20
  • 所属分类：
  • 定价： ￥68.00元
    售价： ￥53.72元
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    纸质书

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本书全面阐述了Ⅲ-V族光电探测器的基本理论、制备工艺、主要性能特点及未来发展趋势，并详细讲述了Ⅲ-V族光电探测器在光纤通信中的应用。全书共8章，具体内容为：光纤通信网概述、半导体物理基础、Ⅲ-V族光电探测器、Ⅲ-V族光电探测器制备工艺、基于Ⅲ-V族光电探测器的解复用光接收器件、高性能Ⅲ-V族光电探测器、高性能Ⅲ-V族光电探测器的应用以及Ⅲ-V族光电探测器的未来发展趋势等。
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    前言
    第1章光纤通信网概述1
    1.1光纤通信网发展概述1
    1.2光纤通信网的特点及架构3
    1.2.1光纤通信网的特点3
    1.2.2光纤通信网的架构4
    1.3波分复用系统7
    1.3.1波分复用系统的基本概念及特点7
    1.3.2波分复用系统的构成7
    1.3.3波分复用系统的波分复用器件和应用8
    参考文献9
    第2章半导体物理基础10
    2.1材料类型10
    2.1.1半导体材料10
    2.1.2其他材料11
    2.2材料特征13
    2.2.1折射率13
    2.2.2工作波长14
    2.2.3非线性效应15
    2.2.4偏振效应16
    2.3半导体理论基础17
    2.3.1能带理论17
    2.3.2能级跃迁和辐射19
    2.3.3粒子数反转21
    2.3.4掺杂作用22
    2.3.5PN结23
    参考文献24
    第3章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器26
    3.1光电探测器简介26
    3.1.1光接收机26
    3.1.2光电探测器（光电检测器）28
    3.2新型光电探测器的分类30
    3.2.1单行载流子光电探测器30
    3.2.2波导型光探测器31
    3.2.3双吸收层型光探测器32
    3.3光电探测器的工作特性33
    3.3.1量子效率与响应度33
    3.3.2响应速度35
    3.3.3暗电流36
    3.3.4线性响应度36
    3.3.5噪声特性37
    参考文献39
    第4章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器制备工艺40
    4.1晶体的生长和外延40
    4.1.1晶体的生长40
    4.1.2外延生长技术42
    4.1.3外延层的结构和存在问题43
    4.2薄膜淀积44
    4.2.1热氧化44
    4.2.2射频溅射实现金属化45
    4.3基于光刻与刻蚀的平面加工46
    4.3.1光学曝光技术46
    4.3.2电子束曝光技术48
    4.3.3刻蚀技术49
    4.3.4模型加工技术51
    参考文献53
    第5章基于Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的解复用光接收器件54
    5.1光电集成技术的发展及其在解复用光接收器件中的应用54
    5.2波分复用系统中的光波分解复用器58
    5.2.1TFF型解复用器58
    5.2.2AWG型解复用器60
    5.2.3FBG型解复用器61
    5.3波分复用系统解复用光接收器件62
    5.3.1波导型光探测器63
    5.3.2基于F-P滤波腔的光探测器65
    5.3.3谐振腔增强型光探测器66
    参考文献67
    第6章高性能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器70
    6.1基于垂直楔形吸收腔的Si基长波长解复用光接收器件71
    6.1.1器件的基本结构71
    6.1.2理论计算与特性分析71
    6.1.3器件的外延生长和制备75
    6.1.4器件的测试和分析79
    6.2基于锥形吸收腔的Si基长波长解复用光接收器件81
    6.2.1基本结构与理论仿真82
    6.2.2圆锥形微结构的制作工艺87
    6.2.3器件的外延生长与制备88
    6.2.4器件的测试和分析88
    6.3具有干顶陡边光谱响应的Si基长波长集成解复用光探测器90
    6.3.1具有平顶陡边响应特性的Si基长波长集成解复用光探测器的理论分析94
    6.3.2基于BCB树脂的晶片键合技术98
    6.3.3器件的外延生长和制备100
    6.3.4器件的测试和分析104
    参考文献106
    第7章高性能Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的应用110
    7.1接入光网络110
    7.1.1网络特点110
    7.1.2关键技术111
    7.1.3实例分析116
    7.2动态可重构光网络122
    7.2.1网络特点122
    7.2.2关键技术122
    7.2.3实例分析124
    7.3相干光网络126
    7.3.1网络特点126
    7.3.2关键技术127
    7.3.3实例分析129
    参考文献130
    第8章Ⅲ-Ⅴ族光电探测器的未来发展趋势131
    8.1光电探测器的展望131
    8.2新器件与新技术132
    8.2.1单行载流子光探测器133
    8.2.2基于微纳结构集成的Ⅲ-Ⅴ族光探测器135
    8.2.3聚焦离子束加工技术138
    8.2.4软光刻加工技术139
    参考文献140
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