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光学镜面离子束修形理论、工艺与装备


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光学镜面离子束修形理论、工艺与装备
  • 书号：9787030826626
    作者：周林
  • 外文书名：
  • 装帧：平装
    开本：B5
  • 页数：144
    字数：200000
    语种：zh-Hans
  • 出版社：科学出版社
    出版时间：2025-10-01
  • 所属分类：
  • 定价： ￥128.00元
    售价： ￥101.12元
  • 图书介质:
    纸质书

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本书详细介绍了作者自博士课题研究以来，对光学镜面离子束修形理论、工艺与装备的研究成果。主要内容包括离子束去除函数的建模与分析、离子束修形驻留时间求解算法与优化、离子束修形能力分析、离子束修形工艺中的误差分析、离子束修形工艺优化、离子束修形试验、离子束修形装备等。本书理论结合实际，系统性好，实践性强。
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    序
    前言
    第1章 绪论 1
    1.1 研究背景与意义 1
    1.2 国内外研究现状 3
    1.2.1 光学镜面抛光方法 3
    1.2.2 离子束修形技术 13
    1.3 本书主要内容 19
    参考文献 20
    第2章 离子束修形去除函数建模与分析 27
    2.1 去除函数理论建模与分析 27
    2.1.1 去除函数理论建模 27
    2.1.2 去除函数特性分析 30
    2.2 去除函数试验模型与估计 32
    2.2.1 去除函数试验模型 32
    2.2.2 去除函数估计 33
    2.3 去除函数试验 37
    2.3.1 试验设备简介 37
    2.3.2 去除函数形状试验 38
    2.3.3 去除函数稳定性试验 39
    2.3.4 去除函数保形性试验 40
    2.4 本章小结 43
    参考文献 43
    第3章 离子束修形驻留时间求解与优化 45
    3.1 线性方程组方法 45
    3.1.1 CEH模型 45
    3.1.2 TSVD算法 47
    3.1.3 参数优化 48
    3.1.4 仿真研究 50
    3.2 迭代方法 53
    3.2.1 脉冲迭代法 53
    3.2.2 边缘效应控制 55
    3.2.3 参数优化 55
    3.2.4 仿真研究 57
    3.3 本章小结 60
    参考文献 61
    第4章 离子束修形能力分析 62
    4.1 修形能力评价指标 62
    4.2 高斯型去除函数的修形能力 63
    4.2.1 理论分析 63
    4.2.2 仿真研究 64
    4.2.3 离子束修形能力讨论 67
    4.3 任意形状去除函数的修形能力 68
    4.3.1 一般情况 69
    4.3.2 常见情况 70
    4.4 修形能力试验 71
    4.4.1 一维去除函数试验 72
    4.4.2 正弦面形刻蚀试验 73
    4.5 本章小结 77
    参考文献 78
    第5章 离子束修形误差分析 79
    5.1 定位误差影响分析 79
    5.1.1 理论分析 79
    5.1.2 仿真研究 81
    5.2 去除函数误差影响分析 84
    5.2.1 基本影响方程 84
    5.2.2 面形收敛比影响 84
    5.3 本章小结 87
    参考文献 87
    第6章 离子束修形工艺优化 89
    6.1 定位工艺优化 89
    6.1.1 定位工艺优化方法 89
    6.1.2 定位工艺优化试验 91
    6.2 进给工艺优化 93
    6.3 加工路径优化 96
    6.3.1 等面积增长螺旋线路径 97
    6.3.2 非均匀路径上驻留时间的求解方法 98
    6.4 本章小结 99
    参考文献 100
    第7章 光学镜面离子束修形试验 101
    7.1 试验设备简介 101
    7.2 Φ100mm平面镜修形试验 102
    7.2.1 样镜1修形试验 102
    7.2.2 样镜2修形试验 106
    7.2.3 样镜3修形试验 110
    7.3 SiC异型平面镜修形 113
    7.4 Φ200mm球面镜修形 117
    7.5 Φ200mm抛物面镜修形 120
    7.5.1 第一阶段修形 122
    7.5.2 第二阶段修形 124
    7.6 本章小结 127
    参考文献 128
    第8章 离子束修形装备 129
    8.1 离子束修形加工布局 129
    8.1.1 工件倒挂式加工布局 129
    8.1.2 工件侧立式加工布局 131
    8.2 离子束修形高精度工件定位 138
    8.2.1 基于三坐标测头和法拉第杯的离子束修形高精度工件定位 138
    8.2.2 任意面形位姿检测 139
    8.3 本章小结 140
    第9章 总结与展望 141
    9.1 全书总结 141
    9.2 研究展望 141
    附录 驻留时间求解 143
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