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OHM大学 等离子体电子工程学


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OHM大学 等离子体电子工程学
  • 原著：[日]菅井秀郎
  • 书号：7030099869
    作者：张海波,张丹
  • 外文书名：
  • 装帧：平装
    开本：A5
  • 页数：172
    字数：156000
    语种：中文
  • 出版社：科学出版社
    出版时间：2002-02-22
  • 所属分类：等离子物理
  • 定价： ￥12.00元
    售价： ￥9.48元
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本书是21世纪大学新型参考教材系列之一，书中主要讲解等离子体中的微观运动，等离子体的宏观性质，气体放电与等离子体的形成，等离子体的生成方法，等离子体在电子、环境工程中的应用等。
本书作者均为工作在专业教学、科研第一线的专家教授。书中内容新颖、重点突出，文字叙述深入浅出、流畅易懂。书中穿插有“篇外话”可作为正文内容的补充说明。各章末均有练习题，书后附有练习题解答。
本书可供大学生、硕士生及科技工作者阅读参考。
本书是21世纪大学新型参考教材系列之一，书中主要讲解等离子体中的微观运动，等离子体的宏观性质，气体放电与等离子体的形成，等离子体的生成方法，等离子体在电子、环境工程中的应用等。
本书作者均为工作在专业教学、科研第一线的专家教授。书中内容新颖、重点突出，文字叙述深入浅出、流畅易懂。书中穿插有“篇外话”可作为正文内容的补充说明。各章末均有练习题，书后附有练习题解答。
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目录

  • 1 等离子体电子学的学习方法
    1.1等离子体概述
    1.2等离子体的各种性质
    1.3等离子体的应用
    1.4本书的构成
    练习题
    2 等离子体中的微观运动
    2.1单个粒子的运动
    2.2粒子间的碰撞
    2.3弹性碰撞中的能量损失
    2.4原子的激发与电离
    2.5分子的激发与离解、电离
    练习题
    3 等离子体的宏观性质
    3.1分布函数与平均量
    3.2等离子体基本方程
    3.3等离子体的电中性
    3.4粒子流动与密度分布
    3.5等离子体鞘层
    3.6能量平衡与粒子数平衡
    练习题
    4 气体放电与等离子体的形成
    4.1气体的绝缘击穿——汤生的实验和理论
    4.2放电起始电压——帕邢定律
    4.3气体放电中的等离子体状态
    4.4汤生理论的局限性
    练习题
    5 等离子体的生成方法Ⅰ——直流放电
    5.1各种放电方法与放电模式
    5.2辉光放电与低温等离子体
    5.3电弧放电与热等离子体
    5.4电晕放电与高气压低温等离子体
    5.5磁控管放电
    练习题
    6 等离子体的生成方法Ⅱ——高频放电、微波放电
    6.1等离子体生成与天线耦合
    6.2平行板加RF电压——电容耦合等离子体
    6.3线圈通RF电流——感应耦合等离子体
    6.4等离子体中的波
    6.5强电波照射——表面波等离子体
    6.6使用磁场中的波——ECR等离子体和螺旋波等离子体
    练习题
    7 等离子体在电子、环境工程中的应用
    7.1LSI制造工艺中的等离子体刻蚀法
    7.2非晶硅薄膜的等离子体CVD制备法
    7.3等离子体显示器件的工作原理
    7.4利用等离子体的环境改善技术
    练习题
    练习题解答
    参考文献
    附录
    篇外话
    “等离子体”名称的由来
    原子的内部状态和光谱标记
    朗缪尔探针
    流注的形成
    表面磁场对等离子体的约束作用
    朗道衰减与回旋衰减
    用强光生成等离子体
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