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本书描述了微机械电子学领域中固态致动器装置的基础理论、实际应用材料、致动装置的设计、驱动/控制技术以及典型应用实例,讨论了该学科领域未来的发展趋势。全书内容如下:第1章描述微机械电子学的现状和发展趋势;第2~4章覆盖了相关的理论基础知识、实用材料以及设计制造中的注意事项;第5章描述驱动/控制技术;第6章描述致动器的建模、损耗和发热问题;第7章介绍有限元分析的方法;第8~10章介绍三种类型装置的具体应用;第11章介绍在当代科技和经济形势下微机械电子学的未来发展。
本书适合高等院校微机械电子学领域本科生、研究生、专业教师和该领域的科技人员参考使用。
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