本书既注重传感器的基本原理和效应,又兼顾传感器的新发展,阐述了和传感器密切相关的传感器的主要支撑技术,如微纳技术、微细加工和传感器功能材料的一些基本概念和内容。主要内容包括:传感器特性与评价,传感器功能材料,微细加工技术,传感器的基本物理原理、效应和器件,物理传感器及主要物理量检测,化学传感器,生物传感器,传感器的集成化、智能化和网络化,传感器的系统集成,微机电系统发展的动向。
本书可供电子信息、仪器仪表、生物医学工程、测控技术、机电一体化、计算机应用等专业的本科生、研究生作为教材,也可供从事传感器研究、开发和应用的工程技术人员参考。
样章试读
目录
- 前言
第1章 绪论
1.1 传感器和现代科技
1.2 传感器的定义和分类
1.3 传感器的构成
1.4 传感器技术的发展趋势和方向
第2章 传感器特性与评价
2.1 传感器的总特性
2.2 传感器的静态特性
2.3 传感器的动态特性
2.4 传感器的误差和信噪比
2.5 传感器的可靠性
2.6 传感器的选择标准
第3章 传感器功能材料
3.1 功能材料的特点与分类及其和传感器的关系
3.2 半导体材料
3.3 功能陶瓷材料
3.4 功能高分子材料
3.5 功能材料纳米结构和纳米碳管
第4章 微细加工技术
4.1 微细加工技术和传感器的发展
4.2 光刻技术
4.3 蚀刻技术
4.4 半导体掺杂
4.5 薄膜技术
4.6 厚膜技术
4.7 软光刻技术
4.8 传感器封装技术
第5章 传感器的基本物理原理、效应和器件
5.1 基本型传感器
5.2 组合型传感器
5.3 光传感器
5.4 压电效应及压电材料
5.5 压阻效应和压阻器件
5.6 电磁效应和电磁元件
5.7 基本电参量——电阻、电容、电感传感原理
5.8 弹性效应和弹性元件
第6章 物理传感器及主要物理量检测
6.1 温度传感器
6.2 压力传感器
6.3 流量传感器
6.4 位移传感器
6.5 速度传感器
6.6 加速度传感器
6.7 新型传感器
第7章 化学传感器
7.1 电化学基本原理
7.2 离子选择性电极
7.3 气敏传感器
7.4 固态电解质传感器
7.5 湿敏传感器
7.6 电化学联用传感器
第8章 生物传感器
8.1 生物体分子识别能力和生物传感器机理
8.2 生物组分固定化技术
8.3 酶电极生物传感器
8.4 免疫传感器
8.5 其他生物传感器
8.6 生物芯片
第9章 传感器的集成化、智能化和网络化
9.1 智能传感器仪器系统概述
9.2 传感器信号采集和传输
9.3 传感器信号处理
9.4 传感器特征抽取辨识和智能化新进展
9.5 集成微系统和智能传感器
9.6 传感器网络
第10章 传感器的系统集成
10.1 传感器信号的标准化处理
10.2 模-数转换器
10.3 嵌入式系统
10.4 传感器的应用
第11章 微机电系统发展的动向
11.1 历史回顾
11.2 发展趋势
参考文献