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真空镀膜原理与技术


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真空镀膜原理与技术
  • 书号:9787030398987
    作者:方应翠
  • 外文书名:
  • 丛书名:
  • 装帧:平装
    开本:B5
  • 页数:224
    字数:282
    语种:
  • 出版社:科学出版社
    出版时间:2014/3/19
  • 所属分类:0802 机械工程
  • 定价: ¥52.00元
    售价: ¥52.00元
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本书阐述了真空镀膜的应用,以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程,探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法,包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用。
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