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本书是先进光学技术丛书之9。书中以光学技术为主干，全面阐述了信息技术中所必需的光学、力学、精密机械、电子学等领域的基础知识及其相互融合产生的光微机械电子学技术。
书中主要阐述光微机械电子学的由来、技术组成，信息设备中的光束强弱控制，光束位置间断与连续跟踪控制、速度控制技术，光微机械电子学中的基础光学、基础力学等内容。
书中列举了大量光微机械电子学的卓越技术成就，涉及到微领域内容诸多的测量传感、驱动控制、系统制造等。
本书可供从事测量技术与仪器、微机技术、纳米技术研究的大学生、研究生及科技工作者阅读参考。

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• 第1章 光微机械电子学概述
  1.1 机械电子学
  1.2 革新的方向
  1.3 光微机械电子学的地位
  1.4 微动力学和光学技术
  第2章 光微机械电子学的技术状况
  2.1 光技术创造的精密机器与信息机器
  2.2 光微机械电子学技术的本质
  2.3 光束强度控制的实例
  2.4 光束定位控制
  第3章 光微机械电子学中的间断定位
  3.1 重复频率控制原理与控制机构
  3.2 重复频率控制特性
  3.3 脉冲周期的稳定及应用
  第4章 光微机械电子学中的速度控制
  4.1 波长扫描原理与控制机构概要
  4.2 波长同步扫描与精密光学测量仪器
  第5章 光微机械电子学中的跟踪定位
  5.1 传统型的光盘跟踪定位
  5.2 浮动头型光盘装置的跟踪定位
  5.3 复合谐振腔型激光位移传感器
  第6章 光微机械电子学的基础光学
  6.1 光学基础
  6.2 光学谐振腔及其应用
  第7章 光微机械电子学的基础力学
  7.1 微小物体动力学
  7.2 梁的运动方程式
  7.3 微领域中的流体运动
  7.4 考虑空气阻力的梁的运动
  7.5 摩擦引起的爬行
  第8章 向光纳米几电子学的发展
  8.1 纳米技术的发展潮流
  8.2 新一代光纳米存储技术
  索引