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本卷主要介绍表征合金、半导体、聚合物及陶瓷所需的表面检测方法，如俄歇显微术、场离子显微术及原子探针、高能离子探针等。卷中对扫描隧道显微术及相关近场探针技术也做了较为详细的介绍。本卷对各种表征技术的介绍比较全面、简洁。
本卷可供材料科学、冶金、物理、电子、生物、医学等研究、教学及生产的科学技术工作者阅读、参考。
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