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透明氧化物半导体


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透明氧化物半导体
  • 书号:9787030416643
    作者:马洪磊,马瑾
  • 外文书名:
  • 丛书名:半导体科学与技术丛书
  • 装帧:平装
    开本:B5
  • 页数:
    字数:
    语种:
  • 出版社:
    出版时间:2014-10-14
  • 所属分类:
  • 定价: ¥148.00元
    售价: ¥148.00元
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透明氧化物半导体因其优异的光学、电学、磁性特性,已广泛应用于电子学、微电子学和光电子学领域,在透明电子学、柔性电子学和自旋电子学等诸多领域具有巨大的现实和潜在应用前景。本书系统地论述透明氧化物半导体薄膜的制备技术、理论基础,分别阐述已经得到广泛应用或具有重要应用前景的八种典型氧化物半导体薄膜的晶体结构、形貌、缺陷、电子结构、电学性质、磁学性质、压电性质、光学性质、气敏性质和光催化性质,评述新兴透明氧化物电子学。
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    · vi ·透明氧化物半导体

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    前言

    绪论1

    第1章氧化物薄膜的制备技术5

    11真空蒸发技术6

    111金属和化合物蒸发6

    112蒸发源的加热装置9

    12MBE技术12

    13溅射技术14

    131双极直流反应溅射15

    132偏压溅射16

    133射频溅射18

    134磁控溅射19

    135离子束溅射22

    14离子镀技术23

    15CVD技术24

    151APCVD和LPCVD技术25

    152PECVD技术26

    153MOCVD技术27

    16溶液镀膜技术30

    161喷涂高温分解30

    162浸涂技术31

    163化学溶解生长31

    164solgel技术32

    17阳极氧化技术33

    171阳极氧化技术33

    172等离子体阳极氧化技术34

    参考文献36

    第2章氧化物半导体基础41

    21金属氧化物晶体结构41

    211MO 型金属氧化物的典型晶体结构41

    212MO2型金属氧化物晶体的典型晶体结构42

    213M2O3型金属氧化物的典型晶体结构43

    22金属氧化物的缺陷44

    221金属氧化物晶体缺陷类型44

    222金属氧化物晶体点缺陷理论基础45

    23金属氧化物半导体的电学性质50

    231金属氧化物半导体的电子结构51

    232金属氧化物半导体的载流子浓度52

    233金属氧化物半导体载流子输运散射机制54

    24氧化物半导体的磁学性质57

    241稀磁氧化物半导体的掺杂元素58

    242氧化物半导体的铁磁性起源60

    25透明氧化物半导体的光学性质62

    251透明氧化物半导体的光学常数62

    252BursteinMoss移动67

    253透明氧化物半导体薄膜的PL特性70

    26金属氧化物半导体的气敏特性74

    参考文献76


    目录· vii ·
    · vi ·透明氧化物半导体
    第3章ZnO薄膜81

    31ZnO薄膜的晶体结构82

    311ZnO的晶体结构82

    312ZnO薄膜的XRD谱84

    313ZnO薄膜的Raman谱86

    314ZnO薄膜的RHEED图案88

    315ZnO薄膜的HRTEM图像90

    32ZnO的电子结构90

    33ZnO的本征点缺陷92

    34ZnO薄膜的电学性质94

    341本征ZnO的弱n型导电94

    342ZnO的掺杂96

    343ZnO薄膜载流子散射机制99

    35ZnO薄膜的磁学性质和压电性质100

    351ZnO基稀磁半导体100

    352ZnO薄膜的压电性质 102

    36ZnO薄膜的光学性质103

    361ZnO薄膜的光透射谱103

    362ZnO薄膜的PL特性105

    363ZnO薄膜的激子受激发射特性108

    参考文献109

    第4章SnO2薄膜114

    41SnO2薄膜的晶体结构115

    411SnO2的晶体结构115

    412SnO2薄膜的XRD谱116

    413SnO2薄膜的Raman谱120

    414SnO2薄膜的TEM和HRTEM图像123

    415SnO2薄膜的XPS谱125

    416SnO2薄膜的RBS谱127

    42金红石SnO2的电子结构127

    43SnO2薄膜的电学性质129

    431金红石SnO2的本征缺陷129

    432金红石SnO2薄膜的掺杂131

    433金红石SnO2薄膜载流子散射机制133

    434铌铁矿SnO2薄膜的电学性质135

    44SnO2薄膜的磁学性质136

    45SnO2薄膜的光学特性137

    451SnO2薄膜的光透射谱138

    452SnO2薄膜的PL特性141

    46金红石SnO2薄膜的气敏特性144

    参考文献145

    第5章TiO2薄膜151

    51TiO2薄膜的晶体结构152

    511TiO2的晶体结构152

    5.1.2TiO2薄膜的XRD谱153

    513TiO2薄膜的Raman谱157

    514TiO2薄膜的XPS谱159

    515TiO2的RBS谱159

    52TiO2的电子结构161

    53TiO2的本征点缺陷164

    54TiO2薄膜的电学性质168

    55TiO2薄膜的磁学性质173

    56TiO2薄膜的光学性质175

    561TiO2薄膜的光透射谱175

    562TiO2薄膜的PL特性177

    563TiO2薄膜的光学常数179

    57TiO2薄膜的光催化特性181

    参考文献183

    目录· ix ·
    · viii ·透明氧化物半导体
    第6章In2O3薄膜190

    61In2O3薄膜的晶体结构190

    611In2O3薄膜的晶体结构190

    612In2O3薄膜的XRD谱192

    613In2O3薄膜的Raman谱195

    614In2O3薄膜的HRTEM图像197

    615In2O3薄膜的XPS谱200

    616In2O3薄膜的RBS谱201

    62In2O3的电子结构203

    63In2O3薄膜的电学性质205

    631In2O3的本征点缺陷205

    632In2O3薄膜的电导特性207

    633In2O3薄膜载流子散射机制211

    64In2O3薄膜的磁学性质212

    65In2O3薄膜的光学性质213

    651In2O3薄膜的光透射谱214

    652In2O3薄膜的PL特性216

    653In2O3薄膜的光学常数217

    66In2O3薄膜的气敏特性220

    参考文献222

    第7章Ga2O3薄膜227

    71Ga2O3薄膜的晶体结构228

    711Ga2O3的晶体结构228

    712Ga2O3薄膜的XRD谱229

    713βGa2O3的薄膜HRTEM图像232

    714βGa2O3薄膜的Raman谱235

    715βGa2O3的XPS谱237

    716Ga2O3薄膜的RBS谱238

    72Ga2O3的电子结构239

    73Ga2O3薄膜的电学性质242

    731Ga2O3的点缺陷242

    732Ga2O3薄膜的电学性质244

    74Ga2O3薄膜的光学性质246

    741Ga2O3薄膜的光透射谱246

    742Ga2O3薄膜的PL特性249

    743Ga2O3的薄膜CL特性252

    744Ga2O3薄膜的光学常数254

    75βGa2O3薄膜的气敏特性256

    参考文献258


    第8章MgZnO薄膜263

    81MgZnO薄膜的晶体结构264

    811MgZnO薄膜的晶体结构264

    812MgZnO薄膜的XRD谱265

    813MgZnO薄膜的Raman谱269

    814MgZnO薄膜的AFM图像270

    815MgZnO薄膜的TEM和HRTEM图像271

    816MgZnO的XPS谱273

    817MgZnO薄膜的RBS谱275

    82MgZnO的电子结构276

    83MgZnO薄膜的电学和磁学性质280

    831MgZnO薄膜的电学性质280

    832MgZnO薄膜的磁学性质282

    84MgZnO的光学性质283

    841MgZnO薄膜的光透射谱283

    842MgZnO薄膜的PL特性286

    843MgZnO薄膜的长波光学声子性质290

    844MgZnO薄膜的光学常数292

    参考文献296

    第9章GaInO和InGaZnO薄膜299

    91引言299

    92GaInO薄膜299

    921GaInO薄膜的晶体结构300

    922GaInO薄膜的电学性质307

    923GaInO薄膜的光学性质309

    93InGaZnO薄膜311

    931InGaZnO薄膜的晶体结构312

    932InGaZnO薄膜的电学性质315

    933InGaZnO薄膜的光学性质325

    参考文献326



    目录· ix ·
    · x ·透明氧化物半导体

    第10章透明氧化物电子学330

    101引言330

    102透明氧化物薄场效应膜晶体管332

    1021cIGZOTFT333

    1022aIGZOTFT335

    1023ZnOTFT344

    103紫外发光二极管和激光二极管349

    1031UVLED350

    1032UVLD356

    104透明UV探测器359

    参考文献363

    索引368

    《半导体科学与技术丛书》已出版书目376

    彩图377
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