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内容简介
粒子同固体相互作用物理学是一门介于核物理和固体物理之间的交叉学科.本书系统地讨论了这一学科的基本理论、实验方法和在科学技术中的应用,作者试图将三者有机地结合起来,连贯地进行阐述,并用适当的篇幅详细介绍实验方法和技术应用的最新发展.
下册主要阐述离子注入和离子束混合概念,辐照损伤以及沟道辐射.
目录
- 上册
第一章 引言
第二章 带电粒子在原子为无序分布物质中的运动
第三章 离子束分析固态材料的组分和结构
第四章 溅射物理
第五章 带电粒子在晶体中的沟道效应
第六章 沟道效应和阻塞效应的应用
下册
第七章 离子注入及其应用
§7.1 注入离子的射程和射程分布理论
一 射程概念和射程的均方偏差
二 射程分布的统计理论
三 投影射程
四 低速重离子在固体中的射程
五 注入离子在非晶靶的浓度分布
六 单晶靶中的射程分布
§7.2 辐射增强扩散效应
一 增强扩散的基本概念
二 增强扩散的类型
三 增强扩散机理
四 多元扩散模型
五 增强扩散效应的应用
§7.3 注入离子在晶格中的位置
一 半导体中注入离子的位置
二 缺陷的移动和定位
§7.4 离子注入层的电学性质
§7.5 离子注入系统
一 离子注入机的概念和类型
二 弱流和中等流强注入机
三 强流注入机
四 离子注入设备的物理限制
五 离子注入机的在线控制
§7.6 离子注入器件的应用
一 平面扩散工艺和离子注入法
二 全离子注入晶体管的电参量控制
三 离子注入MOS场效应晶体管
四 离子注入制备集成电路中的高值电阻
五 离子注入在硅加工中的发展
§7.7 离子注入化合物半导体
一 离子注入化合物半导体的特点和化学配比
二 退火保护问题
三 大规模高速集成电路的制备和离子注入化合物半导体(GaAs)器件
§7.8 离子注入对金属的改性
一 金属中离子注入的特点和物理因素
二 离子注入表面的力学性质
三 提高金属表面抗腐蚀能力
§7.9 离子注入超导体的研究
一 超导电性和超导临界温度
二 离子注入对超导临界温度Tc的影响
三 注入金属氢化物的超导性和超导体中氢的作用
§7.10 离子注入合金的穆斯堡尔研究
一 内转换电子穆斯堡尔测量
二 磨损改善的机理——N﹢或C﹢注入铁
三 扩散的影响
四 磨损前后相的变化——锡注入铁
附录 射程计算机程序
参考文献
第八章 辐照损伤
§8.1 能量淀积和损伤分布
一 离子注入产生的缺陷
二 级联碰撞和原子位移
三 能量淀积的WSS理论
四 矩方程及其求解
五 “高能”离子在固体中能量淀积的“直接法”
六 沟道作用和聚焦作用
七 损伤及损伤分布
§8.2 缺陷的迁移和退火
一 缺陷迁移速率和聚集
二 热退火
三 激光退火
四 电子束退火
§8.3 金属中的辐射损伤
一 辐射缺陷的产生及其相互作用
二 金属玻璃辐射损伤的特性
§8.4 超精细相互作用和缺陷
一 超精细相互作用
二 扰动角关联和穆斯堡尔效应
三 辐射缺陷的研究
四 缺陷-反缺陷反应
五 133Xe注入金属形成空位簇
§8.5 辐射对有机物质的作用
一 聚合物的辐射交联和降解
二 辐射交联的机理
三 固态有机材料的辐射损伤
四 辐照剂量率和温度效应
§8.6 电子自旋共振(ESR)对极低温(4K)下聚合物辐射损伤的研究
一 电子自旋共振和基浓度的测量
二 辐照对基在空间分布的影响
三 氢原子迁移的减弱
四 极低温度(4K)下氢原子的反应率
§8.7 重离子轰击固态生物体产生自由基
一 室温下自由基的产生
二 低温下(77K)自由基的产生
三 “热钉扎”模型及其检验
§8.8 正电子湮灭研究辐照损伤
一 正电子湮灭的物理基础和实验技术
二 捕获模型和金属中的辐照损伤
三 电子辐照钼的损伤及退火效应
四 辐照聚四氟乙烯的正电子寿命谱的分析
附录Ⅰ 三维碰撞级联
附录Ⅱ 矩积分
附录Ⅲ 捕获模型
参考文献
第九章 离子束引起原子混合
§9.1 薄膜系统中离子引起的反应
一 离子感生反应的特点
二 硅化物和金属间化合物
三 热退火引起的相互混合
四 金属固熔体的形成
§9.2 碰撞混合的理论
一 原子位置重排截面
二 基体原子重排及多次重排
三 各向同性的级联混合
四 多次反冲注入
五 含有铂标记层硅中的离子束混合
§9.3 离子束混合机理的实验研究
一 长程混合和短程混合
二 化学效应对混合率的影响
三 原子混合率的温度关联
§9.4 界面反应和原子混合的唯象模型
一 原子的重排和反应
二 扩散控制和反应控制的界面反应
三 扩散混合与碰撞混合的统一描述
§9.5 离子束混合的应用
一 离子束混合在一些物理过程中的作用
二 离子束混合用于材料改性
三 离子束混合微合金
附录Ⅰ 方程(9.2-19)和(9.2-20)的推导
附录Ⅱ 级联混合的随机走动模型
参考文献
第十章 沟道辐射
§10.1 带电轻粒子在晶格沟道中运动的特点
一 横向运动方程
二 相互作用势和束缚态
§10.2 沟道辐射谱学
一 轴沟道
二 平面沟道
§10.3 实验安排
§10.4 沟道辐射与其他几种辐射的比较
一 相干轫致辐射
二 跃迁辐射
三 同步辐射
§10.5 沟道辐射的应用前景
参考文献