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从微电子工业到航天器推进系统乃至高效光源，低温射频等离子体在各种前沿技术中扮演着重要的角色，而且它是物理学、化学及工程学之间相互交叉的一个学科。本书主要聚焦在物理学方面，所以主要适用于应用物理及电子工程专业的研究生及科研人员。本书不仅对射频等离子体的前沿进展进行综述，同时也包括一些等离子体物理基础知识，如有界等离子体的输运及电学诊断。本书的风格有助于激发读者学习的兴趣，帮助读者建立物理图像和数学分析方法。通过实例分析，将理论应用到实际问题中，并留有超过100道的简答题，让读者能够快速掌握新知识，有信心解决与实验相关的物理问题。

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  前言
  第1章概论1
  1.1等离子体1
  1.2微电子学中的等离子体工艺3
  1.3等离子体推进8
  1.4射频等离子体：E,H和W模式12
  1.5内容简介15
  第2章等离子体动力学与平衡17
  2.1微观描述18
  2.2宏观描述33
  2.3整体粒子和能量平衡36
  2.4电动力学描述39
  2.5本章总结48
  第3章有界等离子体51
  3.1空间电荷鞘层区53
  3.2等离子体/鞘层过渡62
  3.3等离子体区：输运模型67
  3.4本章总结77
  第4章射频鞘层83
  4.1响应时间83
  4.2离子动力学87
  4.3电子动力学95
  4.4（高频）RF鞘层的解析模型99
  4.5重要结果归纳110
  第5章单频容性耦合等离子体111
  5.1恒定离子密度下电流驱动的对称模型112
  5.2非均匀离子密度的电流驱动模型123
  5.3整体模型130
  5.4其他放电参数范围及放电位形139
  5.5重要结果归纳145
  第6章多频容性耦合等离子体147
  6.1静电近似下的双频CCP148
  6.2高频情况下的电磁模式156
  6.3重要结果归纳181
  第7章感性耦合等离子体183
  7.1电磁模型185
  7.2等离子体自身的阻抗194
  7.3变压器模型198
  7.4纯感性放电的功率转换效率201
  7.5容性耦合203
  7.6整体模型205
  7.7重要结果归纳210
  7.8进一步考虑211
  第8章螺旋波等离子体217
  8.1在无界等离子体中的平行传播220
  8.2柱状等离子体中传播的螺旋波224
  8.3螺旋波模式存在的条件229
  8.4波功率的吸收：加热231
  8.5E-H-W模式转换235
  8.6重要结果归纳237
  第9章真实等离子体239
  9.1高密度等离子体240
  9.2磁化等离子体244
  9.3电负性等离子体248
  9.4扩展等离子体260
  第10章电测量265
  10.1静电探针266
  10.2用于射频等离子体的静电探针284
  10.3减速场分析器291
  10.4共振及波诊断296
  10.5重要结果归纳306
  附录：习题解307
  参考文献313