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微传感器与微执行器全书


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微传感器与微执行器全书
  • 书号：7030105656
    作者：(美)格雷戈里A.T.科瓦奇著;张文栋等
  • 外文书名：
  • 装帧：精装
    开本：B5
  • 页数：712
    字数：1051000
    语种：中文
  • 出版社：科学出版社
    出版时间：2003-04-09
  • 所属分类：TP2 自动化技术及设备
  • 定价： ￥78.00元
    售价： ￥61.62元
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本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，全书共分九章，几乎涉及MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上，对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。特别是本书提供了大量的参考文献，为读者参考国内外相关研究情况提供了全面的背景资料。本书可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。
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目录

  • 第一章 概述
    1.微机械加工器件简介
    2.什么是换能器
    3.传感器与执行器系统的组成
    4.什么是微传感器和微执行器
    5.要考虑的问题
    6.微传感器与微执行器的市场
    7.信息来源
    8.结论
    参考文献
    第二章 微接写加工技术
    1.微机械加工技术的能力与局限性
    2.微机械加工材料
    3.微机械术语
    4.普通半导体的一般特性
    5.体（去除）加工
    6."表面"（添）加工艺
    7.键合操作
    8.牺牲层工艺
    9.密封空腔的形成
    10.表面修饰
    11.其他微机械技术
    参考文献
    第三章 力学传感器与执行器
    1.引言
    2.基本力学
    3.材料的力学特性
    4.基本的机械装置和结构
    5.力学传感器
    6.力学执行器
    7.机械电路元件
    参考文献
    第四章 光学传感器与执行器
    1.概述
    2.光学传感器
    3.光执行器
    4.微机械光学结构
    参考文献
    第五章 电离辐射传感器
    1.引言
    2.电离探测器
    3.闪烁探测器
    4.直接固态辐射探测器
    5.其他固态辐射探测器
    6.辐射对电子仪器的影响
    7.辐射对生物的影响
    参考文献
    第六章 热传感器与执行器
    1.概述
    2.温度的测量
    3.热学执行器
    4.热传感器/执行器组合
    5.热气体压力传感器
    6.热流传感器
    7.其他类型的温度传感器
    参考文献
    第七章 磁和电磁传感器与执行器
    1.引言
    2.磁现象
    3.磁传感器
    4.磁执行器
    5.微接写电磁器件
    参考文献
    第八章 化学和生物传感器与执行器
    1.引言
    2.化学传感器
    3.化学执行器
    4.生物电子接口器件
    5.混合生物传感器
    参考文献
    第九章 微流体器件
    1.概述
    2.流体管道
    3.流体管道的应用
    4.流体传感器
    5.阀
    6.泵
    7.液滴发生器
    8.其他器件
    9.微流量系统的问题
    10.集成化学分析系统
    11.生物流体系统
    参考文献
    索引
    后记
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