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内容简介
高纯水是电子、电力、医药、化工、食品等工业部门所必需的基础材料之一.纯水水质的高低不仅关系到企业的经济效益和人民的健康水平,也直接影响到科学技术的进步.
本书系统介绍了高纯水技术的物理化学基础、制备方法及分析检测手段.全书共十章,分别介绍了高纯水的制备原理、制水技术、制水设备;树脂及其再生技术;材质污染及材料选择;水质分析原理及分析手段;水站的质量管理等.书中还给出了从事高纯水技术工作所必需的实用数据、图表等资料.书后附有大量参考文献.
本书可供电子、电力、医药、化工、轻工、食品、环保及原子能等工业部门的有关技术人员及高等学校有关专业的师生阅读参考.
目录
- 第一章 高纯水与半导体工艺
1-1 水中的杂质
1-2 高纯水中的杂质对半导体工艺的影响
1-3 高纯水中的杂质对半导体材料和器件性能的影响
第二章 高纯水制备中的预处理
2-1 微粒沉降理论
2-2 凝聚、助凝与澄清
2-3 过滤及深层过滤
2-4 吸附
2-5 反渗透前的预处理
2-6 脱气
第三章 反渗透和电渗析脱盐
3-1 反渗透
3-2 电渗析
第四章 离子交换树脂的脱盐
4-1 离子交换树脂的结构
4-2 离子交换树脂的分类
4-3 离子交换树脂的基本交换特性
4-4 离子交换树脂的反应速率
4-5 离子交换法纯化水
第五章 离子交换树脂的再生
5-1 离子交换树脂和再生剂的选择
5-2 离子交换树脂的失效与再生
5-3 混床离子交换树脂的再生
5-4 离子交换树脂的中毒污染及其复苏
5-5 离子交换树脂的再生装置和工艺流程
第六章 精处理
6-1 紫外灯杀菌
6-2 超过滤
6-3 微孔精过滤
6-4 纯水制备工艺中材质的污染及选择
6-5 纯水制造的工艺流程
第七章 高纯水的分析
7-1 水质分析的意义
7-2 分析方法的选择和评价
7-3 分析数据的处理和评价
7-4 硅的测定
7-5 氯离子的测定
7-6 Cl﹣,F﹣,(NO3)﹣,(SO4)2﹣及(HPO4)2﹣等阴离子的测定
7-7 金属元素的测定
7-8 有机物的测定
7-9 颗粒的测定
7-10 细菌的测定
7-11 高纯水电阻率的测定
7-12 水样的采集和储存
第八章 原水、离子交换树脂和脱盐率的分析
8-1 原水分析
8-2 离子交换树脂的分析
8-3 除盐工序(或设备)脱盐率的分析
第九章 水站的质量管理
9-1 水站质量管理基础
9-2 纯水制造的水质监控
9-3 水站的数据及其处理
第十章 质量管理工具在水站的应用
10-1 直方图
10-2 控制图
10-3 排列图
10-4 因果图
10-5 关联图
10-6 系统图
附录
参考文献